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Hackenberg, Moritz ; Huet, K. ; Negru, R ; Venturini, J. ; Fisicaro, G. ; Magna, A. la ; Pichler, Peter (
2012
)
Modeling boron profiles in silicon after pulsed excimer laser annealing
AIP Conference Proceedings 1496 (2012): S. 241-244. 16.11.2012
Aufsatz
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Letzte Änderung: 14.07.10